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产品介绍
SI6000激光干涉仪产品简介:SI6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、SJ6000激光干涉仪可实现线性测长、测角度、测直线度、测垂直度、测平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
SI6000激光干涉仪介绍:
SI6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
1、可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
2、可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
3、可实现对机床回转轴的测量与校准;
4、可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
5、具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
6、支持手动或自动进行环境补偿。
SI6000激光干涉仪优点:
SI6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
SI6000激光干涉仪线性测量:
SI6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SI6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。其中,线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。
线性测量
测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)
测量精度:0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力:1nm
测量最大速度:4m/s
SI6000激光干涉仪角度测量:
角度反射镜旋转时产生转角,或是移动过程中产生角摆,两束反射光会有相对应的光程差产生,SI6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的角度值
角度测量
轴向量程:(0~15)m
测量范围:±10°
测量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
测量分辨力:0.1″
SI6000激光干涉仪直线度测量:
直线度干涉镜在移动过程中产生横向或纵向位移时,两束反射光会有相对应的光程差产生,SI6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的直线度值。
直线度测量
轴向量程
测量范围
测量精度
分辨力
短距离
(0.1~4.0)m
±3mm
±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm 0.01μm
长距离
(1.0~20.0)m
±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm 0.1μm
注:R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m
SI6000激光干涉仪平面度测量: 平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成,参见下面平行度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ 平面度测量 轴向量程:(0~15)m 测量范围:±1.5mm 测量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m) 基板尺寸:180mm可调,360mm可调 测量分辨力:0.1μm SI6000激光干涉仪垂直度测量: 垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成,详见下面垂直度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整;光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中,允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2。 垂直度测量 轴向量程 测量范围 测量精度 分辨力 短距离 (0.1~3.0)m ±3/M mm/m ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m 0.01μm/m 长距离 (1.0~15.0)m ±3/M mm/m ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m 0.01μm/m 注:R为垂直度结果;M为测量距离,单位:m SI6000激光干涉仪技术参数: 主机 稳频精度:0.05ppm 动态采集频率:50 kHz 预热时间:≤ 6分钟 工作温度范围:(0~40)℃ 存储温度范围:(-20~70)℃ 环境湿度:(0~95)%RH 环境补偿单元 空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃ 材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃ 空气湿度传感器:±5%RH (0~95)%RH 大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa 角度测量范围:(0~360)° 测量精度:±1″ 分辨力:0.1″ 最高转速:10rpm 最高跟踪速度:2rpm 重量:1.9kg 高度:148mm 直径:112mm 通信方式:蓝牙传输 供电方式:锂电池 正交触发盒 信号输入:差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号 输出形式:10μs脉冲 触发延时:0.1μs 供电电源:12VDC 尺寸重量与供电 便携箱尺寸:613mm×460mm×230mm 标准配置重量:18kg 供电电源:(100~240)VAC
SI6000激光干涉仪平面度测量:
平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成,参见下面平行度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ
平面度测量
测量范围:±1.5mm
测量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
基板尺寸:180mm可调,360mm可调
测量分辨力:0.1μm
SI6000激光干涉仪垂直度测量:
垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成,详见下面垂直度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整;光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中,允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2。
垂直度测量
(0.1~3.0)m
±3/M mm/m
±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m
0.01μm/m
(1.0~15.0)m
注:R为垂直度结果;M为测量距离,单位:m
SI6000激光干涉仪技术参数:
主机
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:≤ 6分钟
工作温度范围:(0~40)℃
存储温度范围:(-20~70)℃
环境湿度:(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空气湿度传感器:±5%RH (0~95)%RH
大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa
角度测量范围:(0~360)°
测量精度:±1″
分辨力:0.1″
最高转速:10rpm
最高跟踪速度:2rpm
重量:1.9kg
高度:148mm
直径:112mm
通信方式:蓝牙传输
供电方式:锂电池
正交触发盒
信号输入:差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号
输出形式:10μs脉冲
触发延时:0.1μs
供电电源:12VDC
尺寸重量与供电
便携箱尺寸:613mm×460mm×230mm
标准配置重量:18kg
供电电源:(100~240)VAC
SI6000激光干涉仪配置清单:
序号
名称
明细
备注
1
SI6000主机
1台,配云台、电源适配器
标配
2
通用三脚架
1个,配便携包
3
笔记本电脑
1台,配测量软件
4
环境补偿主机:1个,内置空气湿度和大气压力传感器
空气温度探头:1个,线长5米
材料温度探头:3个,线长5米
5
标配附件
USB线:2根
磁性表座:2个
安装柱:4节
辅助安装块:1块
水平仪:1个
6
线性镜组
线性干涉镜、线性反射镜,各1个,夹紧孔座2个
7
便携式拉杆箱
1个,外尺寸:613mm×460mm×230mm
8
线性附件
三坐标测头夹具:1套
选配
9
轻型线性镜组:小角锥反射镜、缩光镜,各1个
10
可调转向镜:1个
11
角度镜组
角度干涉镜、角度反射镜,各1个
12
平面度镜组
180mm、360mm可调基板,各1个,平面度旋转镜2个
13
短直线度镜组
短距离直线度干涉镜、短距离直线度反射镜,各1个
14
长直线度镜组
长距离直线度干涉镜、长距离直线度反射镜,各1个
15
直线度附件
大角锥反射镜、90度转向镜、直线度底座、M8接头,各1个
16
垂直度镜组
光学直角尺、90°转向镜辅助安装块,各1个
17
自动精密转台
1台,配卡盘、USB数据线、USB电源适配器、蓝牙工具
18
1台,配电源适配器、触发数据线
19
工作服
夏、冬实验室工作服,各1件