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产品介绍

SI6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,SJ6000激光干涉仪结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

SI6000激光干涉仪介绍:

SI6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

1、可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

2、可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

3、可实现对机床回转轴的测量与校准;

4、可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

5、具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

6、支持手动或自动进行环境补偿。


SI6000激光干涉仪优点:

SI6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

SJ6000激光干涉仪



SI6000激光干涉仪线性测量:

SI6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SI6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。其中,线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。

线性测量

测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度:0.5ppm (0~40)

测量分辨力:1nm

测量最大速度:4m/s

SJ6000激光干涉仪

SI6000激光干涉仪角度测量:

角度反射镜旋转时产生转角,或是移动过程中产生角摆,两束反射光会有相对应的光程差产生,SI6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的角度值

角度测量

轴向量程:(0~15)m

测量范围:±10°

测量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M) (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)

测量分辨力:0.1

SJ6000激光干涉仪


SI6000激光干涉仪直线度测量

直线度干涉镜在移动过程中产生横向或纵向位移时,两束反射光会有相对应的光程差产生,SI6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的直线度值。

直线度测量

轴向量程

测量范围

测量精度

分辨力

短距离

(0.1~4.0)m

±3mm

±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm  0.01μm

长距离

(1.0~20.0)m

±3mm

±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm  0.1μm

注:R为显示值,单位:μmM为测量距离,单位:m

SI6000激光干涉仪

SI6000激光干涉仪平面度测量:

平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成,参见下面平行度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ

平面度测量

轴向量程:(0~15)m

测量范围:±1.5mm

测量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μmM为测量距离,单位:m)

基板尺寸:180mm可调,360mm可调

测量分辨力:0.1μm

SI6000激光干涉仪

SI6000激光干涉仪垂直度测量

垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成,详见下面垂直度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整;光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中,允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2

垂直度测量

 

轴向量程

测量范围

测量精度

分辨力

短距离

(0.13.0)m

±3/M mm/m

±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m

0.01μm/m

长距离

(1.015.0)m

±3/M mm/m

±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m

0.01μm/m

注:R为垂直度结果;M为测量距离,单位:m

SI6000激光干涉仪

SI6000激光干涉仪技术参数:

主机

稳频精度:0.05ppm

动态采集频率:50 kHz

预热时间:≤ 6分钟

工作温度范围:(0~40)

存储温度范围:(-20~70)

环境湿度:(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器:±0.1 (0~40)℃,分辨力0.01

材料温度传感器:±0.1 (0~55)℃,分辨力0.01

空气湿度传感器:±5%RH (0~95)%RH

大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa

角度测量范围:(0~360)°

测量精度:±1

分辨力:0.1

最高转速:10rpm

最高跟踪速度:2rpm

重量:1.9kg

高度:148mm

直径:112mm

通信方式:蓝牙传输

供电方式:锂电池

正交触发盒

信号输入:差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号

输出形式:10μs脉冲

触发延时:0.1μs

供电电源:12VDC

尺寸重量与供电

便携箱尺寸:613mm×460mm×230mm

标准配置重量:18kg

供电电源:(100~240)VAC



SI6000激光干涉仪配置清单:

序号

名称

明细

备注

1

SI6000主机

1台,配云台、电源适配器

标配

2

通用三脚架

1个,配便携包

3

笔记本电脑

1台,配测量软件

4

环境补偿单元

环境补偿主机:1个,内置空气湿度和大气压力传感器

空气温度探头:1个,线长5

材料温度探头:3个,线长5

5

标配附件

USB线:2

磁性表座:2

安装柱:4

辅助安装块:1

水平仪:1

6

线性镜组

线性干涉镜、线性反射镜,各1个,夹紧孔座2

7

便携式拉杆箱

1个,外尺寸:613mm×460mm×230mm

8

线性附件

三坐标测头夹具:1

选配

9

轻型线性镜组:小角锥反射镜、缩光镜,各1

选配

10

可调转向镜:1

选配

11

角度镜组

角度干涉镜、角度反射镜,各1

选配

12

平面度镜组

180mm360mm可调基板,各1个,平面度旋转镜2

选配

13

短直线度镜组

短距离直线度干涉镜、短距离直线度反射镜,各1

选配

14

长直线度镜组

长距离直线度干涉镜、长距离直线度反射镜,各1

选配

15

直线度附件

大角锥反射镜、90度转向镜、直线度底座、M8接头,各1

选配

16

垂直度镜组

光学直角尺、90°转向镜辅助安装块,各1

选配

17

自动精密转台

1台,配卡盘、USB数据线、USB电源适配器、蓝牙工具

选配

18

正交触发盒

1台,配电源适配器、触发数据线

选配

19

工作服

夏、冬实验室工作服,各1

选配

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